1.微波系統(采用進口微波源)

微波頻率

2450±25MHz

輸出功率

0.6kw~6kw 連續可調

微波泄漏

離設備 5cm 處，微波泄漏≤ 2 mw/cm2

2.真空系統

工作氣壓范圍

10~250Torr

自動穩壓范圍

40~250Torr

真空泵

采用 4.4L/s 旋片式真空泵

系統漏率

<1.0×10^-9 Pa*m³ /秒 (通過氦質譜檢漏儀檢測)

腔體保壓能力

每 24 小時壓升小于 0.2 Torr

本底極限真空

0.1Pa(7.5×10^-4 Torr)

3.真空反應腔及基片臺

反應腔材料及結構

雙層水冷不銹鋼反應腔

電動升降式水冷基片臺，直徑 100mm

鉬基片臺直徑≥50mm

4.氣路

系統自帶四路 MFC，可擴展至六路

選用日本富士金進口流量計及流量控制閥

5.測溫系統

選用德國品牌紅外測溫儀，范圍：300~1300 攝氏度

6.軟件

配置 PLC 控制的 15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸屏上完成

自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動保護

生產流程通過工藝配方自動控制,可設置多達十套工藝配方

系統自帶全自動抽氣，點火，升溫，降溫等預設流程，用戶操作簡便

全自動溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統操作員的工作量