南京博蘊(yùn)通 ALD-1200-PE原子層氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹：
ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)由滑動(dòng)管式爐、石英真空室、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。
這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)以Kanthal A1 電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，過(guò)零觸發(fā)、
可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門(mén)和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠
達(dá)到10-3 Pa，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、價(jià)格優(yōu)惠等優(yōu)點(diǎn)。
開(kāi)蓋保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開(kāi)關(guān)，當(dāng)爐蓋打開(kāi)時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。
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型號(hào) |
ALD-TL1200-PE -I |
ALD-TL1200-PE -II |
ALD-TL1200-PE -III |
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ALD 控制面板 |
1 、5路控制溫控系統(tǒng)，可以加熱ALD里管路和ALD容器內(nèi)液體 2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)（交替時(shí)間、交替次數(shù)等、用單片機(jī)或PLC 控制能夠達(dá)到ms） |
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ALD閥門(mén)
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1、能夠在不到 5 ms 內(nèi)完成閥門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉 2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產(chǎn)品評(píng)估是循環(huán)次數(shù)超過(guò)了25000000次 3、耐 熱 執(zhí) 行 器 、耐 溫 高 達(dá)200°C（392°F） |
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ALD原理
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ALD化學(xué)氣相沉積是將不同的反應(yīng)前驅(qū)物以氣體脈沖的形式交替送入反應(yīng)室中并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法（技術(shù)） |
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ALD-PECVD簡(jiǎn)圖
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1、 2個(gè)石英容器與ALD管路連接 2、 2個(gè)ALD閥門(mén)、控制2路管道交替脈沖輸入 3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進(jìn)入反應(yīng)區(qū)域。 4、多個(gè)球閥控制管路的通過(guò)。 5、多個(gè)旁通支路、可以通氣其他氣體或運(yùn)載氣體。 |
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功率 |
3.5KW |
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TL1200 管式爐
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爐管尺寸 |
Dia 60(OD) X1800mm |
Dia 80(OD) X1800mm |
Dia 100(OD) X1800mm |
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外形尺（LXDXH） |
1300X410X610 |
1300X410X610 |
1300X410X660 |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
進(jìn)口瑞典Canthal A1 電阻絲 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)）
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過(guò)溫保護(hù) |
有 |
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過(guò)流保護(hù) |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國(guó)西門(mén)康 |
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最高溫度 |
1200 ℃ |
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額定溫度 |
1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤10℃/ Min |
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熱電偶型號(hào) |
K 型 |
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加熱段長(zhǎng)度 |
440mm |
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電器認(rèn)證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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射頻電源 （等離子體發(fā)生器）
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功率輸出范圍 |
0-500W |
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最大反射功率 |
200W |
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工作頻率 |
射頻：13.56MHZ±0.005% |
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功率穩(wěn)定度 |
+/-0.1% |
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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射頻區(qū)域?qū)挾?/p> |
0-600mm 可調(diào) |
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匹配方式 |
自動(dòng) |
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冷卻方式 |
分冷 |
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噪聲 |
<50dB |
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射頻接口 |
50Ω N-type |
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輸入電源 |
208-240V 50/60HZ |
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GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
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質(zhì)量流量計(jì)
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量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類(lèi)型） |
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耐壓 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
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線性 |
±0.5%F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2% F.S |
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路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類(lèi)型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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VS-0.1抽氣系統(tǒng)
方案一或方案二任選一個(gè)
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電源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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VRD-8真空泵
方案一 |
型號(hào) |
VRD-8 |
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極限分壓強(qiáng) |
5X10-2 Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機(jī)功率 |
0.4KW |
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Preiffer ACP15無(wú)油多級(jí)羅茨泵
方案二 |
型號(hào) |
ACP15 |
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電源 |
AC100-240 50/60HZ |
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功率 |
450W |
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重量 |
25KG |
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最高氦氣漏率 |
5 · 10-8 Pa m3/s |
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抽氣速率 |
14 m3/h |
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極限壓強(qiáng) |
0.02Torr |
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進(jìn)、排氣接口 |
KF25 |
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電阻真空計(jì)
（方案一） |
型號(hào) |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測(cè)量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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瑞典（INFICON）
（方案二） |
型號(hào) |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計(jì)接口 |
KF16 |
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數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
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產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測(cè)氣體 |
可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應(yīng)時(shí)間 |
≤30ms |
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測(cè)量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵機(jī)組（選購(gòu)）
（方案一或方案二任選一個(gè)） |
機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機(jī)箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵
（方案一） |
分子泵型號(hào) |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強(qiáng) |
<100pa |
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(FJ620分子泵必須要配此前級(jí)泵)
（方案二） |
功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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德國(guó)Pfeiffer真空泵
（方案二） |
電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機(jī)泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復(fù)合真空計(jì) |
復(fù)合真空計(jì)型號(hào) |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計(jì)測(cè)量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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0571-86775300
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