SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀。可通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量，快速實現光學參數薄膜和納米結構的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征。
概述
SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀?？赏ㄟ^橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量，快速實現光學參數薄膜和納米結構的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度，微光斑，可視化調平系統等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設計。
產品特點
采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)；
高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置，實現Psi/Delta光譜數據高速采集；
支持系列配置靈活，可根據不同應用場景支持多功能模塊化定制；
數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；
產品應用
廣泛應用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應用,實現光學薄膜、納米結構的光學常數和幾何特征尺寸快速的表征分析。
建議配件
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| 溫控臺 | Mapping擴展模塊 | 真空泵 | 透射吸附組件 |
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