產品概述

橢偏在線監測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量光學薄膜質量控制需要，專門設計的在線薄膜測量系統。可適用于空氣、N2、真空等環境條件，自動實現玻璃基板上各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的全片快速掃描測量。

特色功能

。支持產線大基片自定義多點掃描測量并輸出報告

。支持最大193-2500nm全波段分析測量

。支持多橢偏方案，多組合集成

。支持測頭模塊以及樣件機臺定制化

應用場景 

應用于工業中新型光電器件行業所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機發光薄膜、有機/無機封裝薄膜大基片各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的在線式全片快速掃描測量。