EX1手動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款手動教學(xué)儀器。

EX1 儀器適用于納米薄膜的厚度測量、以及納米薄膜的厚度和折射率測量。

EX1儀器還可用于測量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點(diǎn)：

   ·    消光法橢偏測量原理

        儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

   ·   方便的樣品水平放置方式

 采用水平放置樣品，方便樣品取放。

    ·   精巧的一體化結(jié)構(gòu)

  集成一體化設(shè)計(jì)，精巧的儀器外形，方便地顯示儀器測量過程中的光強(qiáng)信息。

    ·   高準(zhǔn)確性的激光光源

 采用激光作為探測光波，測量波長準(zhǔn)確度高。

    ·   實(shí)用的樣品測量功能

  可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復(fù)折射率。

    ·   方便的儀器手動操作

      手動完成測量，儀器軟件輔助進(jìn)行測量數(shù)據(jù)的分析。

    ·   可擴(kuò)展的儀器功能

  利用本儀器，可通過適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測量實(shí)、旋光等。

應(yīng)用：

EX1適合于教學(xué)領(lǐng)域，適用于單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX1可測量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。