RTS-1345型全自動四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
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RTS-1345型全自動四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。 儀器由主機、測試臺、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制進行全自動測試,然后把測試數據采集到計算機中加以分析,以表格、圖形方式統計分析顯示測試結果。 |
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RTS-1345型全自動四探針測試系統面板
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RTS-1345型四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據進行各種數據分析。 |
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