PE-CVD等離子體輔助化學氣相沉積系統
石墨烯（Graphene）自2004年發現以來，在短短數年間已經成為凝聚態物理、化學、材料科學等領域研究中倍受矚目的“明星材料”。
化學氣相沉積（CVD）是目前制備石墨烯的較有效、也是較具研究價值的方法。搭建一套完整而高效的石墨烯化學氣相沉積系統并非易事，即使在系統搭建完成后，要真正制備出單層石墨烯，還需要較長時間的參數優化。這往往使得科研人員錯過了較佳的研究時機。
系統參數 ：
樣品腔
1、 樣品腔材質：高純度石英管 1根
2、 直徑：50mm； 長度：1500mm
3、 端口：不銹鋼法蘭接口，內置水冷卻結構
4、接口：1/4寸不銹鋼管
等離子體發生器
1、 功率輸出范圍: 0-500W
2、 信號頻率: 13.56MHZ±0.005%
3、 功率穩定度：≤2W;
4、 較大反射功率:100W
5、整機保護：DC過載保護、DC/功放過溫保護、反射功率保護、匹配超時保護;
6、傳輸效率：＞90%
7、頻率自動匹配時間：3~5s
加熱爐
1、溫度范圍：室溫-1200°C
2、控溫精度：±1°C
3、加熱區長度：400mm
4、恒溫區長度：200mm
5、加熱元件：高電阻優質合金絲OCr27Al7Mo2
6、額定功率：2.5KW
7、工作電壓：220V
8、較大升溫速度：<15min （滑動模式：<10min）
導軌滑塊
1、爐臺滑動范圍：1200mm
2、移動方式：手動
氣體控制
1、氣體：Ar， H2 ， CH4
2、流量控制：
3、Ar(1000sccm), H2(100sccm）, CH4（50sccm）
4、流量控制器：日本小島
5、精度：1%，
6、輸入：0-5V RS232
7、較大耐壓：1MPa
8、控制響應時間：<1S
真空系統
1、真空泵：Agilent DS202
2、壓力范圍：10-3 Torr - 760 Torr
3、較大抽速：8.3 m3/h
4、真空計：TamaGawa 皮拉尼真空計
5、真空測量范圍：1atm-10-1Pa
自動控制系統
1、配備控制計算機及控制軟件，內置生長參數
2、實時顯示所有實驗參數，
3、自動保存實驗參數
設備總尺寸
1、1800（L）*700（W）*1500（H）mm
免費咨詢：0571-86775300
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